Минпромторг России объявил конкурс на разработку опытного образца станка для нарезания кремниевых стержней на пластины, из которых в дальнейшем будут производиться микропроцессоры и другие полупроводниковые компоненты, сообщили «Ведомости» со ссылкой на сайт госзакупок. В настоящее время в России подобное оборудование не производится.
Стержень монокристаллического кремния и нарезанные пластины. Источник изображения: Shinetsu
На реализацию проекта выделяется 300 млн руб. Приём заявок на участие в конкурсе осуществляется до 17 сентября. Опытный образец станка должен быть предоставлен к 30 ноября 2026 года. В качестве функциональных аналогов разрабатываемого оборудования указаны станки производства Meyer Burger (Швейцария), Linton Kayex (КНР) и Diamond WireTechnologies (США).
Разрабатываемый станок должен иметь возможность отсечения конусов и нарезания заготовок для пластин из кремниевых и германиевых стержней диаметром не более 300 мм, а также полуфабрикатов из синтетического сапфира, кварца, арсенида галлия, карбида кремния диаметром не более 150 мм.
В техзадании к тендеру указано, что данный тип оборудования является базовым в технологической цепочке производства. В настоящее время в России существует значительная потребность в подобном оборудовании в связи с необходимостью технического перевооружения существующих в России производств, а также развития импортонезависимой отечественной силовой электроники.
300-мм заготовки монокристаллического кремния. Источник изображения: Western Minmetals
Представитель Минпромторга пояснил «Ведомостям», что данный станок найдёт применение у организаций, которые выращивают монокристаллические слитки из полупроводниковых материалов — кремния, германия, сапфира, кварца и карбида кремния. В их числе — НПО «Крит», «Лассард» и «Германий». Он также может использоваться для обработки кремния «солнечного» качества диаметром до 300 мм, используемого для изготовления фотоэлементов солнечных батарей. А для работы с более дорогими материалами, например, германием, будет разрабатываться вторая модификация станка, добавил представитель ведомства.
Пользователями такого оборудования в России могут стать предприятия, которые хотят заняться или занимаются выпуском пластин для микроэлектронного производства, сообщил «Ведомостям» независимый эксперт и автор Telegram-канала Алексей Бойко.
Директор исследовательской компании «Абсолют будущего» Александр Савин предположил, что потребителями кремниевых пластин диаметром до 300 мм могут быть компании «Микрон» и «Ангстрем». Ещё в 2022 году сообщалось о планах «Микрона» двукратно нарастить к 2025 году обработку кремниевых пластин для чипов на топологиях 180–90 нм, т. е. с 3000 до 6000 единиц в месяц.
Источник изображения: Laura Ockel/unsplash.com
По словам Савина, российские производители полупроводников в основном используют пластины, получаемые по импорту. Поэтому создание оборудования для производства пластин из монокристаллов является логичным и необходимым шагом по организации собственного производства микроэлектроники полного цикла. Пластины нужны всем производителям интегральных схем и дискретных приборов, отметил представитель производителя микроэлектроники «Кремний Эл».
Согласно данным компании Kept (ранее KPMG в России), отечественный рынок микроэлектроники может вырасти к 2030 году почти в четыре раза до 1,1 трлн руб. Более половины этой суммы — 578 млрд руб. (55 %), будет приходиться на продукцию российских производителей.