Чтобы к 2027 году наладить серийный выпуск 2-нм чипов для заказчиков к 2027 году, молодая японская компания должна будет освоить их опытное производство к апрелю 2025 года, и для этого она в середине декабря текущего года получит свой первый сканер ASML для работы с EUV-литографией. В дальнейшем компания обзаведётся несколькими такими системами, а всего на предприятии будут использоваться более 200 единиц оборудования.

Источник изображения: Intel

Как отмечает Nikkei, в аэропорт на острове Хоккайдо первый EUV-сканер ASML для нужд Rapidus прибудет в середине декабря. Ради ускорения доставки его привезут несколькими грузовыми самолётами в разобранном виде. Специалисты ASML, откомандированные в Японию, затем соберут и настроят систему, чтобы она к апрелю следующего года позволила начать опытный выпуск 2-нм продукции. По соседству ASML откроет свой сервисный центр, поэтому проблем с дальнейшим обслуживанием такого оборудования у Rapidus возникать не должно.

По состоянию на октябрь этого года, предприятие Rapidus было построено на 63 %, в текущем месяце в строительстве были задействованы примерно 4400 рабочих. В случае успеха данного проекта Rapidus намерена построить на Хоккайдо ещё одно предприятие, которое до конца десятилетия сможет наладить выпуск 1,4-нм чипов. В перспективе значится и третье, но в данном случае его строительство будет осуществляться уже в следующем десятилетии.

Руководство компании сейчас ведёт переговоры более чем с 40 потенциальными клиентами, которые могли бы заказывать свои чипы в производство Rapidus, но имена реальных заказчиков компания начнёт раскрывать не ранее следующего года. Примечательно, что на этой неделе основатель Nvidia Дженсен Хуанг (Jensen Huang) намекнул на свою заинтересованность в сотрудничестве с Rapidus, указав на важность диверсификации цепочек поставок своей компании в условиях усугубляющихся противоречий между США и Китаем.

Квартальный отчёт ASML наделал немало шума, поскольку этот ведущий поставщик литографических сканеров настраивается на снижение своей выручки в Китае из-за влияния санкций США. Осторожные настроения в оценке перспектив следующего года, тем не менее, не заставили ASML снизить прогноз по выручке на 2030 год, о чём свидетельствуют материалы, подготовленные ею к недавнему мероприятию для инвесторов.

Источник изображения: ASML

По данным Bloomberg, руководство ASML по-прежнему рассчитывает выручить по итогам 2030 года от 44 млрд до 60 млрд евро, что на фоне прошлогодних 27,6 млрд евро однозначно указывает на тенденцию к росту выручки компании в период с 2026 по 2030 годы. Впрочем, даже в следующем году выручка ASML продолжит расти, как на квартальном мероприятии признались представители компании, хотя темпы роста и должны снизиться по сравнению с предыдущими годами текущего десятилетия.

Норма прибыли ASML в 2030 году должна расположиться в диапазоне от 56 до 60 %. Это выше тех 51,3 %, что были получены по итогам прошлого года, но одновременно компания обещает в ближайшие годы не только активно инвестировать в своё развитие, но и возвращать капитал инвесторам через выплату дивидендов и выкуп акций. В прошлом месяце руководство ASML заявило, что рассчитывает на медленное восстановление спроса на рынке чипов в целом в ближайшие месяцы с сохранением тенденции на протяжении основной части 2025 года. По оценке генерального директора Кристофа Фуке (Christophe Fouquet), следующие два года будут периодами роста не только для бизнеса ASML, но и для всей полупроводниковой отрасли.

Нидерландская компания ASML является ведущим мировым производителем литографических сканеров, поэтому ритмичность её работы важна для всей полупроводниковой отрасли. В пятницу компания столкнулась с масштабным сбоем в работе своей информационной инфраструктуры по всему миру, который удалось устранить в тот же день, последствия инцидента пока оцениваются.

Источник изображения: ASML

Представители ASML пояснили Bloomberg, что проблема в функционировании корпоративной IT-инфраструктуры возникла утром в пятницу, но уже после полудня была устранена. Некоторые из сотрудников компании, тем не менее, были вынуждены работать из дома. Местные СМИ сообщили, что в результате сбоя пострадала деятельность участков по сборке оборудования и офисных подразделений, включая взаимодействие с поставщиками. Причины возникшего сбоя сейчас устанавливаются.

Как пояснили представители ASML в интервью Reuters, сейчас работоспособность всех систем полностью восстановлена. Отметим, что минувший квартальный отчёт компании был опубликован на несколько часов раньше срока в результате ошибки, и его содержание оказало существенное негативное влияние на фондовый рынок. Являются ли эти проблемы звеньями одной цепи, пока понять сложно.

Неоднократные заявления представителей TSMC об отсутствии необходимости переходить на более дорогое оборудование High-NA EUV при производстве чипов по технологии A16 вовсе не означают, что компания им не интересуется в принципе. По данным Nikkei Asian Review, в лаборатории TSMC первая подобная система ASML появится до конца текущего года.

Источник изображения: ASML

Напомним, послойное внедрение EUV-литографии с высоким значением числовой апертуры (High-NA) большинством ведущих производителей чипов запланировано на рубеже литографических норм ниже 2 нм, и пока компания Intel претендует на основного получателя первых образцов такого оборудования от ASML. Между тем, японские источники сообщают, что до конца текущего года соответствующий литографический сканер данной марки будет доставлен на Тайвань и установлен в исследовательском центре TSMC в городе Синьчжу. По крайней мере, речь может идти о первом образце оборудования, поскольку даже Intel оба своих сканера такого типа с конца прошлого года получала поэтапно. Сколько всего сканеров High-NA EUV потребуется TSMC для экспериментов в своей лаборатории, не уточняется.

Сейчас ASML способна ежегодно выпускать от пяти до шести таких литографических систем, и первоначально предполагалось, что Intel уже забронировала весь их тираж на следующий год. Попутно Nikkei удалось получить информацию о подготовке ASML к отгрузке третьего по счёту литографического сканера такого класса для нужд компании Intel. Принято считать, что поставляемые на Тайвань компанией ASML литографические сканеры последнего поколения оснащаются механизмом дистанционного управления, который позволяет безвозвратно выводить машину из строя в случае опасности захвата острова китайскими войсками.

Американские власти регулярно обновляют экспортные ограничения, касающиеся Китая, и в идеале хотели бы видеть синхронные действия со стороны своих союзников, но последние находят всё меньше оправданий для шагов США в этом направлении с точки зрения национальной безопасности. Глава ASML считает, что давление на партнёров США в этой сфере продолжится.

Источник изображения: IBM

Своим мнением генеральный директор ASML Кристоф Фуке (Christophe Fouquet) поделился в интервью Bloomberg на мероприятии Tech Summit в Лондоне. «Если вы посмотрите на геополитический ландшафт, то поймёте, что США продолжат давить на своих союзников с целью введения дополнительных ограничений. Вопрос заключается в том, что полезно для Нидерландов? Что полезно для Европы?» — выразил свою обеспокоенность наблюдаемыми тенденциями руководитель крупнейшего в мире поставщика литографических сканеров, необходимых для выпуска чипов.

Как пояснил Фуке, основная часть поставок оборудования ASML в Китай имеет отношение к зрелым технологиям, которые в меньшей степени могут представлять угрозу для национальной безопасности. «Основной фокус в Китае сегодня делается на массовые полупроводники, они сильно отличаются от ИИ», — добавил глава ASML. Впрочем, подобная специфика не мешает компании расширять свой бизнес в Китае. Уже на протяжении пяти кварталов подряд страна является крупнейшим источником выручки для ASML, а по итогам предыдущего её доля вообще приблизилась к 50 %.

Как стало ясно после публикации недавнего квартального отчёта, руководство ASML не питает иллюзий по поводу сохранения высокой зависимости выручки от китайского рынка. По его мнению, уже в следующем году доля выручки ASML на рынке КНР опустится ближе к исторически характерным 20 %. По словам Фуке, высокие объёмы поставок оборудования китайским клиентам отчасти объясняются отсроченным выполнением заказов со стороны компании, хотя получены они могли быть ещё в разгар пандемии COVID-19. То есть, не только усиление санкций будет влиять на возвращение доли выручки ASML в Китае к историческим, более низким величинам. В данном случае свой след оставила и пандемия.

Кристоф Фуке также отметил, что растущее количество компаний в Европе и США начинает задумываться о влиянии санкций против Китая на собственный бизнес, и всё реже может обосновать их соображениями именно национальной безопасности. Говоря о перспективах собственной деятельности, глава ASML добавил, что в 2025 году объёмы поставок продукции этой компании всё равно вырастут, хоть и не так сильно, как в предыдущие годы. А вот 2026 год для ASML должен стать периодом роста, хотя его пока сложно охарактеризовать количественно.

По информации Reuters, построенное Samsung Electronics в техасском Тейлоре новое предприятие не готово к запуску по причине отсутствия достаточного количества клиентов, из-за чего компания даже отказалась принимать оборудование ASML, предназначенное для установки на новой производственной площадке.

Источник изображения: Samsung Electronics

ASML оказалась не единственным поставщиком оборудования, который столкнулся с нежеланием Samsung оснащать новое предприятие. Поставщики Samsung в некоторых случаях были вынуждены искать новых клиентов, а также отозвать персонал, который был отправлен в Техас для монтажа поставляемого оборудования. Предполагается, что задержки с реализацией проекта в Техасе усугубят положение Samsung, которая давно пытается снизить свою зависимость от рынка памяти, характеризующегося цикличными перепадами цен. По данным Statista на начало текущего года, на рынке услуг по контрактному производству чипов Samsung занимала не более 11 %, тогда как TSMC могла похвастать долей в 61,7 %.

Отчасти такие перспективы развития рынка технологического оборудования были описаны в квартальной отчётности ASML, которая серьёзно насторожила инвесторов. При этом руководство ASML не назвало клиентов, которые задержали строительство предприятий, но помимо Samsung, к таковым можно отнести и компанию Intel, которая была вынуждена заморозить проекты по строительству предприятий в Европе из-за финансовых проблем. В прошлом квартале продажи оборудования ASML в Южную Корею сократились на одну треть в денежном выражении.

По данным Reuters, компании ASML пришлось воздержаться от поставки EUV-сканеров для нужд Samsung Electronics. Один из источников отмечает, что Samsung всё же рассчитывает получить оборудование для предприятия в Техасе, но в более поздний период, который пока не уточняется. В апреле Samsung заявила, что запуск нового предприятия в Техасе состоится в 2026 году вместо текущего. По оценкам аналитиков, чтобы запустить работу предприятия к этому времени, Samsung должна получить всё необходимое оборудование самое позднее к началу 2025 года. По сути, даже корпуса предприятия не достроены в данный момент, и сделать это компания собирается лишь к началу следующего года.

Нидерландский производитель полупроводникового оборудования ASML вчера опубликовал неутешительные прогнозы продаж, что привело к снижению не только его ценных бумаг, но и акций всех игроков мировой полупроводниковой отрасли, а также других сфер, связанных с современными технологиями. Общее снижение рыночной капитализации отрасли достигло $420 млрд, и возможно, что это только начало.

Источник изображений: asml.com

Акции ASML накануне упали на 16 %, в результате чего рыночная капитализация компании сократилась на €49,2 млрд. Сегодня этот процесс затронул и других европейских игроков полупроводниковой отрасли, а за ними последовали азиатские и американские компании. Нидерландский поставщик оборудования для обработки пластин ASMI потерял в цене 2,3 %, акции другого нидерландского изготовителя оборудования для производства микросхем BE Semiconductor подешевели на 1,9 %. Нидерландский же производитель полупроводников STMicroelectronics показал снижение на 1,2 %; немецкий производитель микросхем Infineon — 1,1 %; французский поставщик полупроводниковых материалов Soitec — 0,9 %.

Самые большие потери в Азии понёс японский производитель полупроводников Tokyo Electron — 10 %; Renesas Electronics потеряла более 3 %; поставщик оборудования для тестирования полупроводниковой продукции Advantest снизился на 0,8 %. TSMC и Hon Hai Precision Industry (она же Foxconn) упали на 3,3 % и 1,6 % соответственно. Акции южнокорейской SK hynix, которая производит чипы памяти HBM для ИИ-ускорителей Nvidia, торговались на 1,6 % ниже; Samsung Electronics потеряла 1,9 %. Потери в полупроводниковом секторе азиатского региона потянули вниз основные индексы: японский Nikkei 225 потерял более 2 %, корейский Kospi — 0,6 %, Taiwan Weighted Index — 0,7 %. Крушение ASML отозвалось и в США: Nvidia подешевела на 4,7 %, AMD — на 5,2 %.

Из-за «технической ошибки», как заявила сама компания, квартальный финансовый отчёт ASML был опубликован на день раньше, и он сильно разочаровал инвесторов: нидерландская компания сообщила, что её продажи в 2025 году составят от €30 млрд до €35 млрд, что вдвое ниже представленного ранее прогноза. Чистые заказы за закончившийся в сентябре квартал составили €2,6 млрд — аналитики прогнозировали €5,6 млрд; чистые продажи при этом превзошли ожидания и составили €7,5 млрд. Но это уже не могло утешить инвесторов: в администрации президента США, сообщил Bloomberg, обсуждались новые ограничения продаж передовых чипов Nvidia в определённые страны в интересах национальной безопасности США, что ещё сильнее ухудшило настроения инвесторов в отношении сектора производства полупроводников.

В итоге было поставлено несколько антирекордов, обратил внимание Bloomberg. Суммарное снижение капитализации технологических компаний по всему миру составило $420 млрд. ASML, которая за день потеряла без малого €50 млрд стоимости, исторически уступила по этому показателю лишь трём европейским компаниям. Четверть века назад, когда лопнул «пузырь доткомов» рыночная капитализация Vodafone и Nokia сократилась на €58 млрд и €57 млрд соответственно; а антирекорд принадлежит Volkswagen, который за день подешевел на €120 млрд.

Инцидент с акциями ASML и всей отрасли — это, по версии CNBC, «первый взгляд» на то, как американские санкции против Пекина повлияют на технологическую отрасль: ещё в июне нидерландский производитель отмечал, что на Китай приходятся 49 % продаж.

Преждевременно опубликованный квартальный отчёт ASML стал сюрпризом не только по времени своего появления, но и по содержанию. Инвесторы расстроились из-за скромных объёмов заказов на поставку оборудования этой марки, огорчились из-за снижения прогноза по выручке на следующий год и заявления руководства компании о слабости спроса на китайском рынке. В итоге фондовые индексы в Азии начали день снижением после падения акций ASML более чем на 16 %.

Источник изображения: Tokyo Electron

Напомним, что собственно для ценных бумаг ASML просадка курса более чем на 16 % в ходе одной торговой сессии стала сильнейшей за 26 лет. Инвесторов не успокоили комментарии некоторых экспертов, которые назвали наблюдаемую коррекцию спроса временной. Работающая с ASML в смежном сегменте японская компания Tokyo Electron столкнулась со снижением курса своих акций почти на 10 %, как поясняет CNBC. Акции японского производителя чипов Renesas Electronics подешевели на 3 %, а поставщик оборудования Advantest столкнулся со снижением котировок на 0,8 %.

Тайваньская TSMC, являющаяся крупнейшим в мире контрактным производителем чипов, столкнулась со снижением курса акций на 3,3 %, в случае с контрактным производителем электронных устройств Foxconn падение котировок ограничилось 1,6 %.

В Южной Корее, являющейся родиной для двух крупнейших производителей микросхем памяти в мире, влияние статистики ASML также ощущалось. Акции Samsung Semiconductor упали в цене на 1,9 %, а являющаяся крупнейшим поставщиком памяти семейства HBM компания SK hynix отделалась снижением курса своих акций на 1,6 %.

В целом, азиатские фондовые индексы тоже слегка опустились. Японский Nikkei 225 потерял более 2 %, южнокорейский Kospi опустился на 0,6 %, а тайваньский TWI просел на 0,7 %. Акции AMD успели подешеветь на 5,2 %, а претендовавшая на звание второй по величине капитализации компании в мире Nvidia столкнулась со снижением курса акций на 4,7 %. Влияние на двух последних эмитентов могли оказать слухи о намерениях властей США усилить ограничения на поставку ускорителей вычислений на Ближний Восток.

По традиции, нидерландский поставщик литографического оборудования ASML открыл сезон квартальных отчётов, но случайно сделал это на день раньше намеченного срока. Инвесторов разочаровали два события: снижение прогноза по выручке на следующий год и потенциальное сокращение доли китайского рынка в выручке ASML в том же периоде.

Источник изображения: ASML

В первом случае, как поясняет CNBC, прогноз по выручке компании на весь следующий год уложился в диапазон от 30 до 35 млрд евро, что оказалось ниже предыдущих ожиданий ASML — на уровне 40 млрд евро по верхней границе диапазона. В третьем квартале текущего года компания располагала портфелем заказов на сумму 2,6 млрд евро, что более чем в два раза уступает ожиданиям инвесторов, закладывавших сумму 5,6 млрд евро на этом направлении. Компенсировать разочарование инвесторов не смогло даже превышение фактической выручкой в размере 7,5 млрд евро заложенной в прогноз величины. В следующем году, по данным ASML, норма прибыли компании расположится в диапазоне от 51 до 53 %, что ниже предыдущих значений от 54 до 56 %. Во многом такое снижение объясняется задержкой поставок оборудования для работы с EUV-литографией.

«Хотя мы наблюдаем активное развитие и рост потенциала в сегменте искусственного интеллекта, прочие направления требуют большего времени на восстановление. Как выясняется, это восстановление будет более плавным, чем ожидалось ранее», — заявил генеральный директор ASML Кристоф Фуке (Christophe Fouquet). Что характерно, досрочная публикация квартальной отчётности произошла по ошибке.

Второй важный фактор имел отношение к влиянию на бизнес компании китайского рынка. По словам руководителя ASML, постепенно Китай вернётся к исторической доле рынка в выручке компании. По итогам следующего года, например, она расположится в районе 20 %. Для сравнения, во втором квартале текущего года китайская выручка ASML достигала 49 % от совокупной, а в третьем не только осталась на уровне 47 %, но и выросла в последовательном сравнении на 20 % до 2,79 млрд евро. Отрицательную динамику на китайском направлении формируют ужесточаемые санкции на поставку литографического оборудования в данную страну.

Падение курсовой стоимости акций ASML в результате публикации отчётности за третий квартал стало сильнейшим за 26 лет. Отдельные аналитики пояснили, что все негативные факторы, выявленные в квартальной отчётности ASML, не отменяют высокого спроса на оборудование для выпуска компонентов систем искусственного интеллекта. Акции прочих поставщиков такого оборудования тоже просели в цене, а котировки ценных бумаг Nvidia снизились на 4,5 %.

Для серийного выпуска чипов по технологии Intel 14A одноимённой компании потребуется несколько литографических сканеров ASML с высоким значением числовой апертуры (High-NA EUV), и вторая из полученных ею систем этого класса недавно была успешно собрана и установлена в Орегоне, как стало известно на днях.

Источник изображения: ASML

По сути, о начале монтажа второго литографического сканера ASML такого класса стало известно ещё в начале августа, но процесс удалось завершить только недавно. По данным TrendForce, директор Intel по литографическому оборудованию Марк Филипс (Mark Phillips) даже заявил, что первые итоги испытаний данного оборудования превосходят ожидания компании. Вторую систему класса High-NA EUV производитель процессоров собрал и установил быстрее, чем первую.

По словам Филипса, почти вся необходимая для начала выпуска чипов с использованием данного оборудования инфраструктура готова, и сейчас компания приступила к инспекции фотомасок, которые будут применяться совместно с этим оборудованием. К выпуску чипов Intel сможет приступить с минимальными усилиями. Понятно, что в ближайшие месяцы это будет опытное производство, которое масштабируется до серийного не ранее 2026 года.

Как добавил представитель Intel, для освоения массового производства чипов по технологии 14A компании могут потребоваться новые типы фоторезистивных составов, но к 2026–2027 году они появятся в достаточных количествах.

Тайваньская компания TSMC, которая до сих пор публично демонстрировала отсутствие у неё стремления в сжатые сроки освоить литографию класса High-NA, свой первый литографический сканер такого типа получила ещё в прошлом месяце. Южнокорейская Samsung Electronics хоть и заинтересована в покупке у ASML такого оборудования, после недавних кадровых изменений готовится уменьшить объёмы закупок по сравнению с изначальными планами. По всей видимости, роль такого оборудования в технологическом развитии Samsung была пересмотрена в сторону ослабления.

Меньше месяца осталось до публикации нидерландской компанией ASML очередного квартального отчёта, но отраслевые аналитики уже формируют собственные рекомендации по ценным бумагам этого поставщика оборудования для выпуска чипов, исходя из не самой благоприятной конъюнктуры китайского рынка и отказа Intel от строительства предприятий в Германии.

Источник изображения: ASML

Формально, Intel недавно лишь заявила о намерениях воздержаться от реализации проекта по строительству двух передовых предприятий в Германии общей стоимостью 30 млрд евро из-за проблем с его финансированием, но за два года паузы может случиться что угодно, а потому не все эксперты уверены, что строительство вообще начнётся. В любом случае, в ближайшие два года дополнительное количество оборудования ASML компании Intel не потребуется, а это значит, что какую-то часть потенциальной выгоды нидерландский поставщик упустит.

Таким образом рассуждают представители Morgan Stanley, на комментарии которых ссылается Reuters. В июле и августе акции ASML уже потеряли в цене 30 %, а появление комментариев Morgan Stanley на этой неделе спровоцировало снижение курса ещё на 2,7 %. Представители Morgan Stanley свой прогноз по их курсовой стоимости снизили с 925 до 800 евро за штуку при текущем курсе около 796 евро. Помимо влияния новейших решений Intel об уменьшении расходов на строительство новых предприятий, акции ASML будут подвергаться давлению со стороны рынка оперативной памяти, который в обозримом будущем вряд ли продемонстрирует рост спроса, если не считать сегмент HBM.

Кроме того, к 2026 году китайский рынок для ASML перестанет быть основным драйвером роста выручки, как предполагают аналитики. Сейчас он обеспечивает до половины выручки компании, но в сочетании с усилением санкций он начнёт демонстрировать перенасыщение уже в обозримом будущем. Соответственно, прежних темпов роста он уже показать не сможет. Тем более, что и санкции со стороны властей Нидерландов и США могут усилиться. С другой стороны, 2025 год для ASML будет удачным во многих отношениях, ведь передовое оборудование этой марки продолжит пользоваться повышенным спросом на фоне сохраняющегося бума искусственного интеллекта.

Литография со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением (EUV) способна заметно удешевить производство 7-нм и более совершенных полупроводниковых компонентов, поэтому санкции США против Китая направлены на ограничение доступа последней из стран к таким технологиям. Как выясняется, китайские производители оборудования создают свои решения для работы с EUV.

Источник изображения: ASML

Во всяком случае, об этом позволяет судить патентная заявка на «Генераторы экстремального ультрафиолетового излучения (EUV) и оборудование для литографии», поданная в КНР шанхайской компанией SMEE ещё в марте прошлого года. Как сообщает South China Morning Post, документ описывает принципы устройства литографического оборудования, предназначенного для работы с источниками сверхжёсткого ультрафиолетового излучения. Информация о регистрации такой патентной заявки стала известна только на этой неделе.

До сих пор SMEE удавалось создавать только литографические сканеры, пригодные для работы с 28-нм и более грубыми технологическими нормами. Если китайская компания освоит выпуск EUV-сканеров, это существенно сократит отставание китайских производителей чипов от зарубежных конкурентов. Лидером в сфере поставок литографического оборудования является нидерландская компания ASML. Китайские производители чипов пока на 99 % зависят от зарубежных поставщиков, среди которых числятся компании из Нидерландов, США и Японии. Все три страны ограничивают поставку EUV-оборудования в Китай, причём Нидерланды такие меры ввели ещё в 2019 году.

С текущего месяца власти Нидерландов требуют от работающих в юрисдикции этой страны компаний получать экспортные лицензии на поставку запасных частей для установленного в Китае оборудования ASML, а также программного обновления эксплуатируемых китайскими клиентами систем. Сервисное обслуживание данного оборудования тоже фактически запрещено.

Непосредственно шанхайская компания SMEE в санкционный список США попала ещё в декабре 2022 года, что лишило её возможности использовать в создаваемом оборудовании технологии и компоненты американского происхождения. По всей видимости, компания решила самостоятельно создать оборудование для изготовления чипов с использованием EUV-литографии. Последняя подразумевает длину волны лазера 13,5 нанометра, что почти в 14 раз меньше присущего DUV-оборудованию параметра 193 нанометра. Китайская SMIC, как принято считать, выпускает для Huawei 7-нм чипы с помощью DUV-оборудования и многочисленной и громоздкой оснастки. Итоговая продукция получается довольно дорогой из-за высокого уровня брака. Переход на полноценное оборудование класса EUV позволил бы китайским производителям чипов экономить время и деньги при его эксплуатации.

TSMC удалось опередить Intel в запуске массового производства на EUV-оборудовании, но в более продвинутом сегменте High-NA EUV компания отстала от своего американского конкурента. Intel уже пользуется машиной High-NA EUV от ASML для проведения исследований и разработки, а TSMC начнёт установку первого такого сканера лишь в этом месяце, узнали DigiTimes и United Daily News.

Источник изображения: asml.com

Первая установка со сверхжёстким ультрафиолетовым излучением и высокой числовой апертурой (High-NA EUV) ASML Twinscan EXE:5000, построенная специально для применения в целях исследования и разработки, будет устанавливаться в центре TSMC в тайваньском Синьчжу. В сентябре крупнейший в мире полупроводниковый подрядчик начнёт получать компоненты машины, после чего несколько месяцев потребуются на сборку и калибровку оборудования, прежде чем на нём станет тестироваться технология производства полупроводников нового поколения.

Перспективные технологические процессы TSMC N2 (класс 2 нм) и A16 (класс 1,6 нм) будут работать исключительно на EUV-оборудовании с низкой числовой апертурой 0,33. Сканер High-NA EUV (числовая апертура 0,55) будет использоваться для техпроцесса A14 (класс 1,4 нм) ориентировочно в 2028 году, хотя официальных заявлений компании по этому поводу пока не последовало. Но его внедрение вызовет дополнительные сложности как у производителей, так и у разработчиков, поэтому TSMC не спешит с развёртыванием таких сканеров.

Ещё один аргумент не в пользу машин нового поколения — их цена, которая, как заявил ответственный за разработку новых технологических процессов в TSMC Кевин Чжан (Kevin Zhang), понравилась ему меньше, чем производительность. Каждая машина High-NA стоит около $400 млн, хотя президенту компании Си-Си Вэю (C.C. Wei) и удалось договориться о скидке в размере почти 20 % при покупке нескольких единиц оборудования сразу. Учитывая, что TSMC является ведущим производителем, использующим EUV-литографию, и в её распоряжении находятся 65 % мировых EUV-мощностей ASML, нидерландский производитель, конечно, склонен идти на сделки с заводом, который является одним из его крупнейших клиентов.

В конце прошлой недели власти Нидерландов решили синхронизировать свои правила экспортного контроля с американскими, в результате чего в них были включены две дополнительные модели литографических сканеров ASML для выпуска чипов. Китайские власти предсказуемо выразили недовольство подобным решением нидерландских властей, но одновременно выступили и с критикой политики США.

Источник изображения: ASML

Китайский министр торговли заявил следующее: «В последние годы ради поддержания мировой гегемонии, США продолжали принуждать определённые страны усиливать меры экспортного контроля в сфере полупроводников и профильного оборудования. Китай решительным образом против этого». По мнению китайского чиновника, нидерландская сторона не должна злоупотреблять правилами экспортного контроля, избегать мер, которые вредят сотрудничеству с Китаем в сфере полупроводников, а также защищать общие интересы китайских и нидерландских компаний.

Напомним, что нидерландская коллега китайского министра объяснила принятые новые ограничения соображениями национальной безопасности. Отныне для поставок DUV-систем моделей Twinscan NXT:1970i и NXT:1980i в недружественные страны экспортёры оборудования должны получать экспортную лицензию у властей Нидерландов, а не в США, но сути ограничений это не меняет. Западная коалиция полагает, что с помощью такого оборудования китайские компании способны изготавливать достаточно продвинутые 7-нм и 5-нм чипы. Опасения по поводу возможности их применения в системах вооружений и объясняют связь таких запретов с доводами о национальной безопасности.

Смелые для современной политической конъюнктуры заявления нового руководителя ASML заявления о характере экспортных ограничений США не помешали компании подчиниться новым требованиям властей Нидерландов, которые расширили перечень контролируемых с точки зрения поставок в недружественные страны литографических сканеров на две модели.

Источник изображения: ASML

Поскольку ASML не успела поставить в Китай ни одной передовой EUV-системы «благодаря» введённым властями Нидерландов ограничениям в 2019 году, внимание американских регуляторов с тех пор сосредоточилось на менее совершенном оборудовании, предназначенном для работы с глубоким ультрафиолетовым излучением и методом иммерсионной литографии (DUV). Наиболее продвинутые системы Twinscan NXT:2000i этого типа ограничивались в поставках в недружественные страны типа Китая с сентября прошлого года, но в США и Нидерландах существовало разногласие по поводу включения в этот перечень систем Twinscan NXT:1970i и NXT:1980i, которые используют DUV-литографию и позволяют выпускать чипы по нормам 5 и 7 нм.. Американцы считали, что подобные поставки нужно согласовывать с ними из-за наличия в составе оборудования компонентов, использующих разработанные в США технологии.

В Нидерландах ограничения на экспорт двух моделей литографических сканеров, указанных выше, вступили в силу только сегодня, и теперь правила контроля двух стран синхронизированы. Более того, теперь желающие поставить указанное оборудование в Китай или другую недружественную страну компании должны будут получать экспортную лицензию не в США, а в Нидерландах. Компания ASML, которая эти системы производит, не считает изменения в правилах экспортного контроля настолько существенными, чтобы они могли повлиять на её прогноз по выручке на 2024 год.

Министр внешней торговли Нидерландов Ренет Клевер (Reinette Klever) данный шаг прокомментировала следующим образом: «Это решение было принято по соображениям безопасности. Мы видим, что технологический прогресс увеличил риски безопасности, связанные с экспортом конкретного производственного оборудования, особенно в текущем геополитическом контексте». По словам чиновницы, выдающееся положение Нидерландов в сфере производства оборудования для выпуска чипов накладывает на страну определённую ответственность, и вводимые ограничения носят адресный и взвешенный характер. Они не должны нарушить товарооборот и цепочки поставок в мировой полупроводниковой промышленности.